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石墨熱場以及部件在單晶硅的制造中起著關鍵的載體作用

2020-06-08 16:10:59

  直拉單晶爐的熱系統,也就是所謂的熱場,是指為了熔化硅料,并使單晶生長保持在一定溫度下進行的整個系統。



  熱場一般包括(石墨材料)壓環、保溫蓋、上中下保溫罩、石墨坩堝(三瓣堝)、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導流筒、石墨螺栓,且為了防止漏硅,爐底、金屬電極、托桿、都設置了保護板、保護套。



  21世紀,越來越多的用戶開始注意到石墨材料,石墨具有耐高溫、導電、導熱性良好、潤滑性等主要特點,抗熱震性等在新能源引領未來的時代,石墨熱場以及部件在單晶硅的制造中起著關鍵的載體作用。



  在真空爐中熱場是決定單晶硅好壞的決定因素,通過對石墨熱場的了解,決定熱場石墨組件的好壞的因素有很多,其中石墨原材料的選擇和加工工藝上非常關鍵

石墨熱場以及部件在單晶硅的制造中起著關鍵的載體作用

  由于單晶爐石墨熱場大多是采用等靜壓石墨來加工,對于石墨制品加工企業來說石墨材料要比加工工藝所占的比重大一些,那么提高石墨熱場的利用率是石墨制品加工企業都要考慮的問題,因此在報價給看客戶報價的時候除了考慮石墨原材料理化指標,更多的還要考慮石墨熱場的壽命。


  清(qing)爐(lu)是個技術活,清(qing)爐(lu)不(bu)到(dao)(dao)位,將(jiang)影響(xiang)到(dao)(dao)單晶(jing)的正(zheng)(zheng)常生長,輕(qing)者,無(wu)法正(zheng)(zheng)常生長單晶(jing),重者,將(jiang)會導致停爐(lu),大家在清(qing)理單晶(jing)爐(lu)中應(ying)該注意(yi)到(dao)(dao)幾點:


  1、盡量將噴濺(jian)到石墨(mo)部(bu)件上的硅(gui)滴(di)去除,劣化嚴重(zhong)的石墨(mo)件要向主任報告及(ji)時(shi)更(geng)換。


  2、用刷子和(he)吸塵器清理(li)各種石墨件,一(yi)定要(yao)注意清理(li)管道的(de)重要(yao)性。


  3、石(shi)墨件要輕拿輕放,避免石(shi)墨件受損。


  4、清理干凈(jing)的石墨件,應(ying)放在干凈(jing)的不銹鋼推車(che)上,避免二次污(wu)染。

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